蝕刻機和光刻機哪個先進

       1.從工作原理上看光刻機和蝕刻機。如果把制造芯片比喻成蓋房子，那么光刻機的作用就是把房子的結(jié)構(gòu)標注在地上。刻蝕機就是在光刻完成以后才登場的設(shè)備，也是光刻完成以后為重要的設(shè)備之一。刻蝕機主要的作用就是按照光刻機已經(jīng)標注好的線去做基礎(chǔ)建設(shè)，把不需要的地方給清除掉，只留下光刻過程中標注好的線路。

       2.結(jié)構(gòu)對比從結(jié)構(gòu)上來看光刻機和蝕刻機。光刻機的主要的核心技術(shù)就是光源和光路，其光源和光路的主要組成部分有四個，光源、曝光、檢測、和其他高精密機械組成。對比之下，蝕刻機的結(jié)構(gòu)組成就要簡單很多，主要是等離子體射頻源、反應(yīng)腔室和真空氣路等組成。

蝕刻機的工作內(nèi)容

       蝕刻機主要由等離子體射頻源、反應(yīng)腔室和真空氣路等組成，主要的作用：光刻機把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上后，利用蝕刻機把不需要的地方給清除掉，只留下光刻過程中標注好的線路、圖形等。

       因此，在芯片制造環(huán)節(jié)中，光刻機完成了本身工作，就需要由蝕刻機來二次加工，形成一個完成的芯片制造工藝鏈。可以說，蝕刻機是光刻之后必不可少的設(shè)備，也是輔助光刻機工作的重要環(huán)節(jié)。